公司主要从事半导体清洗设备和中央供液系统(CDS)的研发、生产、销售和服务。主要产品或服务包括半导体槽式清洗设备、部件清洗设备、中央供液系统、半导体清洗设备和中央供液系统的改造服务、工程服务以及配件。 公司立足自主创新,通过多年的技术研发和工艺积累,生产制造的清洗设备可以实现8英寸、6英寸、4英寸的晶圆清洗,为客户提供定制化的设备和工艺解决方案。公司设备和工艺有效的提升了客户的生产效率、提升良品率并降低生产成本,一定程度上实现了国产替代。 公司凭借先进的技术水平、优质的服务能力,已成为国内具有影响力的半导体清洗设备供应商。公司是国家高新技术企业、上海市“专精特新”中小企业和上海市科技型中小企业。自设立以来,公司坚持创新发展战略,重视清洗技术的自主研发,在半导体设备行业形成了产品以及技术竞争优势。公司共拥有专利41项,其中发明专利23项,实用新型18项。